[发明专利]一种顶发射OLED的复合薄膜封装方法

摘要

本发明提供了一种顶发射OLED的复合薄膜封装方法，包括以下步骤：在顶发射OLED的阴极表面蒸镀预封装层，得到预封装器件；所述预封装层包括交替层叠排列的金属氧化物层和金属层；在所述预封装器件的预封装层表面沉积薄膜封装层，得到复合薄膜封装器件；所述薄膜封装层包括氧化硅薄膜和氮化硅薄膜中的至少一种。本发明通过蒸镀交替层叠排列的金属氧化物层和金属层作为预封装层，能隔绝空气并防止水汽渗透到器件中影响性能；通过沉积氧化硅薄膜和/或氮化硅薄膜为薄膜封装层，缓解了氧气和水汽的渗透能力。实验表明，本发明的复合薄膜在60℃/90％RH条件下，水汽透过率为3.85×10‑5g/m2·day。