[发明专利]热处理炉的腔室冷却单元在审
| 申请号： | 202010655539.6 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113776340A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 金珉哲;中西识 | 申请（专利权）人： | 韩国光洋热电系统有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/12 | 分类号： | F27D1/12;F26B25/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国京畿道平泽*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开热处理炉的腔室冷却单元。本发明的热处理炉的腔室冷却单元包括：热处理炉，其具有为了加热或干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有由加热器组成的发热体，从而利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；冷却气流通道，其沿着所述腔室的内外部盒体形成：以及至少一个冷却外套，其以垂直方向位于所述腔室的外侧面，从而在所述腔室内侧形成的所述冷却气流通道中形成冷却气流。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 冷却 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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