[发明专利]一种陀螺仪在审
申请号: | 202010655504.2 | 申请日: | 2020-07-09 |
公开(公告)号: | CN111964656A | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 马昭;占瞻;杨珊;李杨;谭秋喻;洪燕;黎家健;张睿 | 申请(专利权)人: | 瑞声科技(南京)有限公司 |
主分类号: | G01C19/5719 | 分类号: | G01C19/5719 |
代理公司: | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人: | 袁文英 |
地址: | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种陀螺仪,包括外部锚点结构、外层圆环结构、内层圆环结构、内层电极、外层电机以及耦合梁结构,所述耦合梁结构设置在所述外部锚点结构与所述外层圆环结构之间以及所述外层圆环结构与所述内层圆环结构之间,所述耦合梁结构用于支撑所述外层圆环结构和所述内层圆环结构振动。本发明陀螺仪整体上具有更大的刚度,更高的模态频率,更佳的抗振性能,以及更高的检测精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 陀螺仪 | ||
【主权项】:
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