[发明专利]一种SOI传感芯片及谐振式MOMES矢量水听器在审
| 申请号： | 202010635434.4 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111735530A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 邹永超;徐攀;王俊;楼康;彭承彦;朱家华;徐志明 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 湖南企企卫知识产权代理有限公司 43257 | 代理人： | 任合明 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及水声传感领域，具体涉及一种SOI传感芯片及基于该传感芯片的谐振式MOMES矢量水听器，包括可调激光器、光衰减器、光隔离器、3dB分束器、第一偏振控制器、第二偏振控制器、SOI传感芯片、第一光电探测器、第二光电探测器，所有器件之间均通过连接光纤连接；有益技术效果：通过谐振式悬臂梁实现水声传感，可在设计的工作谱段内实现极高灵敏度；采用传感悬臂梁与参考悬臂梁设计，通过采集两者信号差值有效抑制系统与环境共模噪声，可大大提高系统检测精度与分辨率；用于水声信号传感的悬臂梁结构与用于信号读取的脊形波导结构设计在同一平面内，芯片结构紧凑，与标准SOI工艺兼容，便于低成本大批量生产，且可保证系统性能稳定性与重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 soi 传感 芯片 谐振 momes 矢量 水听器 | ||
【主权项】：
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