[发明专利]一种样品台柱及其制造方法在审
| 申请号： | 202010630887.8 | 申请日： | 2020-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN111751183A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 董旭林 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了一种样品台柱及其制造方法，样品台柱可以具有一个侧平面，顶部具有固定平面和侧墙，侧墙位于固定平面除侧平面之外的其他侧，固定平面用于固定待测芯片，在固定平面上固定待测芯片时，侧墙可以对待测芯片起到一定的保护作用，因此待测芯片的固定更加可靠，利于对芯片的处理和测试，同时，侧墙的存在使样品台柱所在位置易识别，因此利于自动进行待测芯片的固定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 台柱 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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