[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202010623056.8 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111654796B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 游振江;林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 温剑;王迎 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，微型麦克风防尘装置包括托架以及设置在托架上的防护膜；其中，在防护膜远离托架一侧设置有形变抑制层；形变抑制层与托架配合对防护膜的边缘进行应力调整。利用上述发明能够平衡防护膜受到的热应力并减轻其高温下的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
【主权项】：
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