[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202010621357.7 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111711908A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 游振江;林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 温剑;袁文婷 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中，微型麦克风防尘装置包括支撑载体以及设置在所述支撑载体上的进入保护膜；其中，所述支撑载体形成有通孔，所述进入保护膜覆盖所述通孔；并且，所述进入保护膜包括设置在所述支撑载体上的第一保护层以及固定在所述第一保护层上的第二保护层，其中，所述第一保护层与所述第二保护层的材质不同。利用上述发明能够有效的解决现有的微型麦克风防尘装置上的薄膜结构在高温环境下发生屈曲的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
【主权项】：
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