[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 202010602827.5 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111809145B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 莫丹;赵欢;李俊峰;张义波;朱平;贾松霖;陈营营 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;H10K71/60 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例一方面提供了一种蒸镀装置，用于对待蒸镀基板进行蒸镀，包括蒸镀腔室和位于蒸镀腔室内部的至少一个阻隔结构，所述阻隔结构用于蒸镀时与所述待蒸镀基板相接触，以遮挡部分待蒸镀基板的待蒸镀区域。本发明的蒸镀装置的蒸镀腔室内设置至少一个阻隔结构，该阻隔结构用于蒸镀时与所述待蒸镀基板相接触，以遮挡部分待蒸镀基板的待蒸镀区域，从而使得用于放置功能组件的区域中无蒸镀材料沉积，提高了最终屏体中用于放置功能组件的区域的透过率，更进一步地提升了最终屏体产品的屏占比。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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