[发明专利]一种电驱动的片上集成掺铒波导放大器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010600408.8 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111934196B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王兴军;周佩奇;王博;何燕冬 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01S5/125 | 分类号： | H01S5/125;H01S5/04;H01S5/30 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 郭亮 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种电驱动的片上集成掺铒波导放大器及其制备方法，包括：在光路上依次设置的硅衬底、DBR底部反光镜、光波导、增益介质层、DBR顶部反光镜、键合层、Ⅲ‑Ⅴ族泵浦层，Ⅲ‑Ⅴ族泵浦层通过电致发光产生泵浦光，在信号光传输的相交方向上间接电驱动增益介质层产生放大，Ⅲ‑Ⅴ族半导体光源通过外延生长或者贴片键合的方式集成到键合层上；DBR底部反光镜与DBR顶部反光镜构成DBR谐振腔，提高增益介质层中的泵浦功率；光波导与增益介质层形成混合波导结构。本发明采用III‑V族半导体激光器作为泵浦，实现了电致发光；III‑V族半导体激光器采用生长或贴片键合的方式集成到光波导放大器上，工艺简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 集成 波导 放大器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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