[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风有效
申请号: | 202010592633.1 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN111711903B | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 游振江;佐野豊;林育菁 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 王迎;温剑 |
地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风,包括支撑载体以及设置在所述支撑载体一侧的过滤膜;所述过滤膜包括固定部以及设置在所述固定部的内部的过滤网;所述过滤网包括中心部、螺旋式环绕所述中心部设置的分区部以及连接所述中心部和所述分区部的第一连接部;其中,所述第一连接部的刚度值小于所述中心部以及所述分区部的刚度值。利用上述发明能够有效的解决现有的微型麦克风防尘装置上的网部在高温环境下发生不规则屈曲的问题。 | ||
搜索关键词: | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
【主权项】:
暂无信息
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