[发明专利]一种带有导正机构的硅片生产用传输装置在审
申请号: | 202010591071.9 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN113829532A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 陈锡元 | 申请(专利权)人: | 扬州伟业创新科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00 |
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地址: | 225600 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了硅片生产设备技术领域的一种带有导正机构的硅片生产用传输装置,包括工作台,所述工作台底部设置有万向轮,所述工作台顶部四角处均设置有立柱,四组所述立柱顶部均连接有顶板,所述顶板分别设置有除尘装置和导正装置,所述工作台内腔横向设置有两组电机座,两组所述电机座内腔均设置有电机,两组所述电机前端面均连接有电机轴,两组所述电机轴前端均贯穿工作台前端面,两组所述电机轴外周均套接设置有转轮,两组所述转轮外周均套接设置有皮带,该传输装置能够将硅片导正传送至传输装置处,以避免硅片歪斜传输,从而影响硅片的加工效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 导正 机构 硅片 生产 传输 装置 | ||
【主权项】:
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