[发明专利]一种基板作业平台在审
| 申请号： | 202010589511.7 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113829760A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘正勇;张作军;刘晏;王广炎;盛俭;吕海波;沈洪星;何烽光;黄振东;李然;熊海军;刘同心 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | B41J3/407 | 分类号： | B41J3/407;B41J3/44;B41J25/24;B41J25/308;B25H1/00;B25H1/08 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 朱琳爱义 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体装备技术领域，公开了一种基板作业平台，该基板作业平台包括：架台组件，架台组件包括机架和支撑盘；基板承载组件，基板承载组件包括基板承载平台，基板承载平台安装于支撑盘；基板承载平台背离支撑盘的一侧形成承载面；至少一个龙门组件，每个龙门组件沿平行于承载面的第一方向可移动地安装于支撑盘；每个龙门组件上设至少一个工作组件，且至少一个工作组件沿平行于承载面的第二方向可移动地安装于龙门组件；每个工作组件与龙门组件间可拆卸连接；每个龙门组件上还设有驱动部，驱动部用于驱动工作组件动作；设于支撑盘、用于驱动龙门组件动作的驱动机构。上述基板作业平台通过装配不同工作组件，可以实现平台的多功能作业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 作业 平台 | ||
【主权项】：
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