[发明专利]一种加热器底部电磁屏蔽结构及加热器在审
| 申请号： | 202010589503.2 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113840527A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 王燚 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K9/00 | 分类号： | H05K9/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体设备技术领域，具体提供了一种加热器底部电磁屏蔽结构以及包含该屏蔽结构的加热器。此加热器底部是一个出线的接口端，加热器的加热模块的供电线缆由此处出线，加热器供电加热后，供电线缆通过的电流后会产生一定的电磁波，对精密的电气控制系统产生信号干扰。因此，在加热器底部进行屏蔽，可以有效降低加热器供电和线缆产生的电磁波干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 底部 电磁 屏蔽 结构 | ||
【主权项】：
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