[发明专利]垂直腔表面发射激光器、其制造方法及其检查方法在审
| 申请号： | 202010587213.4 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN112152083A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 辻幸洋 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01L23/544;H01L21/66;H01S5/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李兰;孙志湧 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及垂直腔表面发射激光器、其制造方法及其检查方法。垂直腔表面发射激光器包括设置在半导体层上的第一绝缘膜，第一绝缘膜具有凹部、设置在第一绝缘膜的凹部中的识别标记，识别标记由金属层形成，以及设置在半导体层的上方并且覆盖第一绝缘膜和金属层的第二绝缘膜。金属层具有位于等于或低于第一绝缘膜的上表面的高度处的上表面。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 表面 发射 激光器 制造 方法 及其 检查 | ||
【主权项】：
暂无信息
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