[发明专利]PEG改性的SiO2

摘要

本发明公开了一种PEG改性的SiO2‑TiO2复合自清洁减反射膜及其制备方法。该自清洁减反射膜含有20～25wt％的TiO2和75～80wt％的SiO2，该膜背离玻璃基板的一面分布有直径为10～40nm的圆形孔洞。本发明还公开了减反射膜的制备方法，通过将SiO2添加到TiO2制成SiO2‑TiO2混合溶胶并分成两份，其中一份中加入PEG，然后依次用SiO2‑TiO2混合溶胶和掺杂PEG的SiO2‑TiO2混合溶胶镀膜，退火后，顶层的PEG挥发形成孔洞结构，这样所制备的折射率渐变的减反射膜，在可见光区间平均透过率为97.4％，且其最高透过率高于99％；另外，由于TiO2的加入，在光照条件，可以使薄膜的接触角减小，有利于改善薄膜的自清洁性能。该方法成本低、制备简单且环保，对基底的形状要求低，可实现大规模量产。