[发明专利]一种晶圆生产时用微环境控制系统在审
| 申请号： | 202010580870.6 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN111787718A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 徐权锋 | 申请（专利权）人： | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | H05K5/00 | 分类号： | H05K5/00;H05K5/02;H05K7/20 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 吴圳添 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆生产时用微环境控制系统，包括内置显示屏、左抓把、面板、按键、开关钮、控制座、右抓把、顶嵌口、散热机构和拧动圈，本发明通过优化设置了散热机构，在控制座内部侧端加设配合散热的整体结构，大散热硅胶、小散热硅胶本体具有高效散热的作用，大导热片、小导热片形成相应的导流通道，在侧端形成便于引导热量排出的配合结构，使用效果好；通过优化设置了调节组件，简易的螺纹杆在控制座侧端，能够通过拧动拧动圈带动螺纹杆推动大导热片，使其绕转动柱转动调节，气流调节导向效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 时用微 环境 控制系统 | ||
【主权项】：
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