[发明专利]用于托盘匣仓储的系统及方法有效
| 申请号： | 202010579347.1 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113120490B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 郭宗圣;李瑄;白峻荣;黄冠维;黄志宏;朱延安 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/04 | 分类号： | B65G1/04 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种系统包括半导体处理单元、自动化物料搬运系统(Automated Materials Handling System，AMHS)运载工具及仓储设备，其中仓储设备包括至少一个输入口、至少一个输出口及至少一个装卸口，其中仓储设备被配置成实行以下操作中的一者：在所述至少一个输入口处从自动化物料搬运系统运载工具接收多个托盘匣容器，通过所述至少一个输入口将多个托盘匣容器中的每一者中的至少一个托盘匣运送到所述至少一个装卸口，通过托盘馈送输送机将至少一个第一托盘从所述至少一个托盘匣运送到半导体处理单元，并通过托盘馈送输送机从半导体处理单元接收至少一个第二托盘。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 托盘 仓储 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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