[发明专利]一种发射相干激光的垂直腔面发射激光器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010574459.8 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111613967B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张建伟;宁永强;张星;周寅利;黄佑文;曾玉刚;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王晓坤 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种发射相干激光的垂直腔面发射激光器，包括由下至上依次层叠的第一布拉格反射镜层、发光层、第二布拉格反射镜层、相位控制层，且所述光束输出孔用于反射激光的表面为倾斜表面，以使发射相干激光的垂直腔面发射激光器发射相干激光。本申请中的垂直腔面发射激光器中设置有相位控制层，且在相位控制层中设置有光束输出孔，光束输出孔用于反射激光的表面为倾斜表面，使得激光在该倾斜表面产生双向分光，得到相干激光，即本申请中的垂直腔面发射激光器可以直接发射相干激光，有利于实现激光雷达的相干探测技术，从而避免高功率工作对垂直腔面发射激光器造成内部损伤，延长使用寿命。本申请还提供一种具有上述优点的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发射 相干 激光 垂直 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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