[发明专利]一种真空腔中器件的更换装置和方法在审
| 申请号： | 202010573378.6 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111852280A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 伍强;顾峥;李艳丽 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | E06B5/00 | 分类号： | E06B5/00;E06B3/46;E06B7/232;E05C19/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;马盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空腔中器件的更换装置，包括真空腔和缓冲腔，所述真空腔和缓冲腔之间通过隔板隔开，所述隔板上包括通孔、滑轨、可在滑轨中滑动且能够覆盖通孔的门板、均匀分布在通孔边上的可伸缩的锁扣、以及连接锁扣和门板的控制中心，所述锁扣包括垂直设置的伸缩轴和锁紧轴，所述锁紧轴位于所述伸缩轴的一端，所述伸缩轴的另一端嵌入在所述隔板中，所述门板与所述锁紧轴位于所述通孔的同一侧，所述缓冲腔中包含抓手和替换器件，当真空腔中器件需要被替换时，所述缓冲腔处于与真空腔相同的真空状态，所述抓手用缓冲腔中替换器件替换真空腔中器件。本发明公开了一种真空腔中器件的更换装置和方法，可以减少停机时间，提高设备的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 器件 更换 装置 方法 | ||
【主权项】：
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