[发明专利]激光直写设备中多路光路校准系统及方法有效
| 申请号： | 202010573071.6 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111781800B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 肖燕青;茆晓华;陈海巍 | 申请（专利权）人： | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H04N5/225;H04N5/235 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 彭素琴 |
| 地址： | 221000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了激光直写设备中多路光路校准系统及方法，属于曝光技术领域。所述方法通过成像转换组件对各光路所投的图像进行转换，像经过成像转换组件透镜组后变成平行光通过校准光路的各光学元件(全反镜+透反镜)，最终经CCD物镜将平行入射的光线成像到CCD靶面相机上。通过成像转换组件将光路用于校准的图形成像到无穷远，从而解决了CCD靶面相机与各光路距离不一样的问题，因为不需要移动载物平台，所以避免了现有多光路校准的方法存在的耗时长且校准精度依赖于可移动平台的精度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 设备 中多路光路 校准 系统 方法 | ||
【主权项】：
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