[发明专利]用于真空系统之间样品管道输送的连续驱动装置在审

专利信息
申请号: 202010569704.6 申请日: 2020-06-20
公开(公告)号: CN111674931A 公开(公告)日: 2020-09-18
发明(设计)人: 吕洪申;杜强强;徐高翔;柳亚敏 申请(专利权)人: 上海实路真空技术工程有限公司
主分类号: B65G51/04 分类号: B65G51/04;B65G51/18
代理公司: 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 代理人: 谢小军
地址: 200444 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种用于真空系统之间样品管道输送的连续驱动装置,包括真空管道、导轨、移动样品台、磁体、设置在真空管道外且通过与磁体配合驱动移动样品台的驱动装置和用于进行驱动装置导向的导向轨,相邻真空管道通过法兰和插板阀连接,所述驱动装置包括至少两个驱动磁体,移动样品台上的磁体至少包括设置在样品台两端的两个磁体,至少有一个驱动磁体与一个移动样品台上的磁体处于耦合状态用于驱动移动样品台沿所述导轨移动,在经过所述法兰与插板阀处时,驱动磁体自由升降进行避让,同时至少有一个驱动磁体与移动样品台的一个磁体处于可驱动移动样品台移动的耦合状态。本发明能够达到连续驱动且过程稳定、驱动精度更高和驱动时间更短的效果。
搜索关键词: 用于 真空 系统 之间 样品 管道 输送 连续 驱动 装置
【主权项】:
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