[发明专利]用于真空系统之间样品管道输送的连续驱动装置

说明书

本发明公开了一种用于真空系统之间样品管道输送的连续驱动装置，包括真空管道、导轨、移动样品台、磁体、设置在真空管道外且通过与磁体配合驱动移动样品台的驱动装置和用于进行驱动装置导向的导向轨，相邻真空管道通过法兰和插板阀连接，所述驱动装置包括至少两个驱动磁体，移动样品台上的磁体至少包括设置在样品台两端的两个磁体，至少有一个驱动磁体与一个移动样品台上的磁体处于耦合状态用于驱动移动样品台沿所述导轨移动，在经过所述法兰与插板阀处时，驱动磁体自由升降进行避让，同时至少有一个驱动磁体与移动样品台的一个磁体处于可驱动移动样品台移动的耦合状态。本发明能够达到连续驱动且过程稳定、驱动精度更高和驱动时间更短的效果。

技术领域

本发明涉及真空系统的样品输送领域，具体涉及一种用于真空系统之间样品管道输送的连续驱动装置。

背景技术

目前，在薄膜材料生长系统和材料表征系统实验室内，薄膜材料样品需在真空状态下进行生长、输送和表征，薄膜材料样品生长过程需经过多个生长系统，因此，一般会采用超高真空互联系统将薄膜材料生长系统和材料表征系统连接在一起或者是多个薄膜材料生长系统连接在一起，实现样品的原位转移(样品在薄膜生长系统生长结束后，通过互联系统转移到材料表征系统中进行表征，或者样品到不同薄膜材料生长系统中进行不同工艺的生长)。因为互联系统的使用便利性及可靠性对于整套互联系统尤为重要。互联系统中的一个比较重要的环节是移动样品台在经过互联管道间的法兰或者互联管道对接间的插板阀处的驱动过程，此过程对于整套系统的便利性，系统运行的稳定性，移动样品台运动的驱动精度非常重要。

目前常见的用于薄膜材料生长和表征的真空系统之间样品管道输送装置为“交替式”驱动装置，具体如图1所示，其构成是一个包含有驱动磁体和气缸的驱动装置、驱动模组、第一磁体、第二磁体、移动样品台、法兰和插板阀。在运行时驱动磁体在驱动模组的作用下通过第一磁体带动移动样品台运动到法兰和插板阀处时，驱动磁体在气缸的作用下带动驱动磁体上升，待驱动磁体运动到第二磁体的正上方时，驱动磁体在气缸的作用下带动驱动磁体下降且继续带动移动样品台往前运动到下一系统的真空管道。水平运动的动力传递依次为：驱动模组→驱动磁体→第一磁体→移动样品台；垂直运动的动力传递依次为：后台程序→气缸→驱动磁体。

这种真空系统之间样品管道输送的驱动装置具有很明显的缺点与问题，具体缺点与问题如下：

1.因为是“交替式”驱动装置，其驱动磁体在经过互联管道的法兰和插板阀处时处于上升后的运动过程中，由于互联管道法兰及插板阀处的流程交复杂且占用时间长，此时，移动样品台处于静止状态，会增加样品传输的时间。

2.因为是“交替式”驱动装置，其驱动磁体在上升后的运动过程中，移动样品台处于自由状态，当真空管道有所倾斜时，移动样品台会自由滑动，从而使得后台程序不能精确的控制驱动磁体下降，对后续的驱动会造成影响。

3.因为“交替式”驱动装置是由水平运动和垂直运动的2组控制系统控制组成的，会出现2种运动不能完美配合的情况。

发明内容

鉴于目前真空系统之间样品管道输送的“交替式”驱动装置存在的上述不足，本发明提供一种用于真空系统之间样品管道输送的连续驱动装置，能够达到驱动过程稳定、驱动精度更高和驱动时间更短的效果。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：