[发明专利]超声换能器制备方法、超声换能器以及信息采集元件有效
| 申请号： | 202010568777.3 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111530723B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王文轩;沈健;陆斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京合智同创知识产权代理有限公司 11545 | 代理人： | 李杰 |
| 地址： | 518045 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种超声换能器制备方法、超声换能器以及信息采集元件，包括：在基底层上形成第一电极；在第一电极的第一表面形成钝化保护层；在钝化保护层的第一表面形成电路层；去除基底层；在第一电极的第二表面形成压电层；在压电层的第一表面形成第二电极。因为去除了基底层，使得超声换能器的厚度较小，能够适用于需要超薄超声换能器的场景。而且超声换能器产生的超声波信号在传播时经过的有效器件结构层不包括基底层，避免超声波信号因穿透基底层而出现能量损耗，使超声换能器的超声性能更好。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 换能器 制备 方法 以及 信息 采集 元件 | ||
【主权项】：
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