[发明专利]一种抛光垫材料及抛光垫有效
| 申请号： | 202010568253.4 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN113896856B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李善雄;杨涛;李俊峰;王文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | C08G18/44 | 分类号： | C08G18/44;C08G18/48;C08G18/42;B24B37/24 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种抛光垫材料及抛光垫，涉及集成电路技术领域，以解决抛光垫磨损量大、寿命短的问题。所述抛光垫材料包括：所述抛光垫材料由异氰酸酯和多元醇制备而成；其中，所述抛光垫材料具有疏水性，所述抛光垫材料具有的疏水性至少由所述多元醇引入的疏水性基团产生。所述抛光垫包括上述技术方案所提的。本发明提供的抛光垫材料及抛光垫用于集成电路领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 材料 | ||
【主权项】：
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