[发明专利]一种具有压阻效应的柔性振动传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010567988.5 申请日: 2020-06-19
公开(公告)号: CN111750975B 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 慕春红;刘启明;娄帅;宁婧;尹良君;简贤 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G01H11/06 分类号: G01H11/06;G01L1/18;B82Y15/00
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 吴姗霖
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种具有压阻效应的柔性振动传感器,属于柔性功能电子材料及新型传感器技术领域。所述柔性振动传感器包括敏感材料和导电电极,敏感材料包括碳纳米管膜、以及附着于碳纳米管膜上的氧化锌颗粒,其中,所述碳纳米管膜的厚度为50~80μm,氧化锌颗粒尺寸为200~500nm,碳纳米管与氧化锌的质量比为(12~15):1。本发明传感器的敏感材料包括碳纳米管膜和氧化锌颗粒。一方面,底层的碳纳米管膜具有三维导电网络结构,撞击引起的物体振动导致敏感材料表面振动而发生形变,进而改变碳纳米管的三维导电网络的电阻;另一方面,氧化锌具有压阻效应,撞击引起的物体振动也能引起氧化锌层的电阻变化,有效增强了振动传感器的灵敏度。
搜索关键词: 一种 具有 效应 柔性 振动 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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