[发明专利]从硅树脂中毒中恢复传感器的方法、设备和系统在审
申请号: | 202010566723.3 | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN113820449A | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 刘玲;魏娜;张福丞 | 申请(专利权)人: | 瑞益系统公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘桢;刘茜 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及从硅树脂中毒中恢复传感器的方法、设备和系统。本文描述的各种实施例涉及用于从硅树脂中毒中恢复气体传感器的方法、设备和系统。在示例性实施例中,提供了一种从硅树脂中毒中恢复气体感测设备的方法。该方法包括将气体感测设备暴露于预定的氢浓度达氢暴露时间的时段。预定的氢浓度破坏在气体感测设备的催化珠上形成的氧化硅键。该方法还包括向气体感测设备提供甲烷浓度达甲烷暴露时间的时段。该方法还包括基于气体感测设备对甲烷浓度的反应来确定气体感测设备是否满足预定的校准灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 硅树脂 中毒 恢复 传感器 方法 设备 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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