[发明专利]槽式清洗设备的过泡保护装置及过泡保护方法有效
| 申请号： | 202010566171.6 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111570380B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 李嘉;吴仪 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种槽式清洗设备的过泡保护装置和过泡保护方法，该过泡保护装置设置于所述槽式清洗设备中，包括托举机构和排液机构，其中，托举机构可升降的设置在槽式清洗设备的清洗槽中，用于带动被清洗件升降；排液机构与清洗槽连接，用于排出清洗槽中的液体。本发明实施例提供的槽式清洗设备的过泡保护装置及过泡保护方法的技术方案，适用范围较大，尤其适用于盛放高温高浓的化学药液的清洗槽，而且可以显著减少过泡造成的过刻蚀现象。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 设备 保护装置 保护 方法 | ||
【主权项】：
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