[发明专利]半导体器件及半导体器件的制造方法在审
申请号: | 202010565331.5 | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN112117323A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 朴慧圣;裵珍宇;高荣浩;朴钟爀;尹普彦;蒋明在 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L27/02;H01L21/8234 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 张晓;韩芳 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种半导体器件及半导体器件的制造方法。所述半导体器件包括:基底,具有单元区域和外围区域;单元栅极结构,设置在单元区域上;第一杂质区域和第二杂质区域,在单元区域中分别布置在单元栅极结构的第一侧和第二侧上;位线结构,设置在单元栅极结构上并且连接到第一杂质区域;外围栅极结构,设置在外围区域上;外围盖层,设置在外围区域上,覆盖外围栅极结构,并且具有与位线结构的上端在基本上同一水平处的上表面;以及单元接触结构,设置在第二杂质区域上,并且具有导电阻挡件和位于导电阻挡件上的接触材料层,其中,导电阻挡件覆盖位线结构的上端。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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