[发明专利]半导体器件及半导体器件的制造方法在审

专利信息
申请号: 202010565331.5 申请日: 2020-06-19
公开(公告)号: CN112117323A 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 朴慧圣;裵珍宇;高荣浩;朴钟爀;尹普彦;蒋明在 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L27/02;H01L21/8234
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 张晓;韩芳
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了一种半导体器件及半导体器件的制造方法。所述半导体器件包括:基底,具有单元区域和外围区域;单元栅极结构,设置在单元区域上;第一杂质区域和第二杂质区域,在单元区域中分别布置在单元栅极结构的第一侧和第二侧上;位线结构,设置在单元栅极结构上并且连接到第一杂质区域;外围栅极结构,设置在外围区域上;外围盖层,设置在外围区域上,覆盖外围栅极结构,并且具有与位线结构的上端在基本上同一水平处的上表面;以及单元接触结构,设置在第二杂质区域上,并且具有导电阻挡件和位于导电阻挡件上的接触材料层,其中,导电阻挡件覆盖位线结构的上端。
搜索关键词: 半导体器件 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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