[发明专利]一种硅晶圆蚀刻辅助装置

摘要

本发明属于蚀刻领域，尤其是一种硅晶圆蚀刻辅助装置，针对现有的晶圆蚀刻产生的气体处理成本高以及零部件更换不便的问题，现提出如下方案：包括矩形盒，所述矩形盒的四个侧面与顶部均设置有活性炭滤网，且矩形盒的底部固定安装有底固定板，所述活性炭滤网与矩形盒之间设置有密封框，所述底固定板的底部固定安装有四个支撑柱，四个所述支撑柱的底部固定安装有同一个底支撑板，所述底固定板与底支撑板之间设置有导气管，且导气管的一端固定安装有法兰盘，所述底支撑板的底部固定安装有四个万向轮，本发明利用低成本的结构实现了对有毒有害气体的吸附过滤，同时方便了活性炭滤网与活性炭空气滤筒的拆装更换与清理，且结构简单，实用性强。