[发明专利]适用于芯片测试系统的测试平台有效
| 申请号： | 202010557687.4 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111736058B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 余占清;刘佳鹏;曾嵘;陈政宇;任春频;赵彪 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人： | 张陆军 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于芯片测试系统的测试平台，包括：承片台，其上设置待测试芯片；至少一测试座，装设于所述承片台上；转接板，电性连接于所述测试座及测试电路；其中，所述待测芯片根据驱动信号进行动作后，所述测试座通过探针或键合线电性连接于所述待测芯片，所述测试电路通过所述转接板采集测量所述待测芯片的电性能参数。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 芯片 测试 系统 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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