[发明专利]一种由10-O-乙酰异水菖蒲二醇合成的可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法

摘要

本发明公开了一种由10‑O‑乙酰异水菖蒲二醇合成的可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法，涉及光刻胶树脂单体领域，其结构式为所示：其中R为氢或者甲基，其合成方法为：10‑O‑乙酰异水菖蒲二醇Ⅰ中的酯基水解，再将体系调成酸性得到中间体Ⅱ；在催化剂a催化下，中间体Ⅱ的不饱和碳碳双键与氢气进行加成反应得到中间体Ⅲ；中间体Ⅲ与另一反应底物经酯化反应后生成目标树脂单体Ⅳ。本发明提供了一种新的光刻胶树脂单体，具有更好的耐刻蚀性能，增加了耐刻蚀性能，增加了曝光后树脂在显影液中的溶解性，有利于改善显影后图形的边缘粗糙度，大大提高了显影后图形的分辨率。