[发明专利]一种带有一粗四精沟槽的砂轮及其应用在审
申请号: | 202010548544.7 | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN111993295A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 卢运增;贺贤汉;洪漪;王庆荣 | 申请(专利权)人: | 上海新欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24D7/02 | 分类号: | B24D7/02;B24D7/14;B24B41/04;B24B9/06 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 赵建敏 |
地址: | 200444 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种带有一粗四精沟槽的砂轮,包括砂轮本体,所述砂轮本体的外直径为200‑210mm,砂轮本体的厚度为18‑25mm;所述砂轮本体上按顺序开设有1个粗研沟槽和4个精研沟槽;所述粗研沟槽与相邻精研沟槽之间的距离为1.8±0.02mm;相邻两个精研沟槽之间的距离也为1.8±0.02mm;所述粗研沟槽的宽度为2.3±0.02mm;所述精研沟槽的宽度为1.7±0.02mm;并未改变传统精研沟槽的宽度,保证了精研沟槽研削的有效性及稳定性;优化粗研沟槽的宽度以及沟槽之间的距离,及在保证倒角面质量的前提下重新优化砂轮沟槽,在实际生产加工中,极具实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 一粗四精 沟槽 砂轮 及其 应用 | ||
【主权项】:
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