[发明专利]悬臂梁及其制造方法在审
| 申请号： | 202010541479.5 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111717880A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 王宁;徐峰;薛飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01L1/04 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 季向冈;王昊 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种悬臂梁及其制造方法。本发明的悬臂梁包括沿第一方向(y)延伸的主体和一体地形成于所述主体的所述第一方向的一端的固定端部，该固定端部沿着与所述第一方向大致垂直的第二方向(x)延伸，所述悬臂梁包括沿所述第二方向延伸的纳米微桥，所述悬臂梁的主体通过所述纳米微桥与所述固定端部连接。本发明的制造方法利用聚焦离子束刻蚀技术，对已有的悬臂梁母体进行刻蚀加工来形成本发明的悬臂梁。本发明的悬臂梁的弹性系数相比于现有的悬臂梁大大降低，能够用于极灵敏力探测实验。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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