[发明专利]气体微少泄漏检测装置和气体微少泄漏检测系统在审
| 申请号： | 202010530904.0 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN112082707A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 横畑光男 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;G01K13/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体微少泄漏检测方法和气体微少泄漏检测装置，能够进一步考虑气体供给路径的周边环境(尤其是温度环境)来提高泄漏判定的精度。气体微少泄漏检测装置具备：气体流量获取部(10)，其获取气体流路(3)内的气体的流量；压力检测部(20)；温度检测部(30)；警报部(40)；以及控制部(50)，其在每个第一期间执行有流量计数器(52C)、无压力上升计数器(52B)以及有温度上升计数器(52A)的计数，当无压力上升计数器的值达到第一规定值的情况下，根据有流量计数器的值和有温度上升计数器的值来判定是否使警报部(40)进行警报。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 微少 泄漏 检测 装置 系统 | ||
【主权项】：
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