[发明专利]用于制备硅晶圆的方法有效
| 申请号： | 202010528927.8 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN112080791B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | S·巴拉内茨斯凯;M·达尼埃尔 | 申请（专利权）人： | 硅电子股份公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及用于制备硅晶圆的方法。硅单晶，其氧浓度大于2x10 |
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| 搜索关键词： | 用于 制备 硅晶圆 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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