[发明专利]一种用于降低靶材冷却时间的真空电弧镀装置在审
| 申请号： | 202010526695.2 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111455326A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 刘雅朋;黎红英;肖云飞;谷平;罗朝勇;赵阳;黄勋 | 申请（专利权）人： | 中国航发航空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 610500 四川省成都市中国(四川)自*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于降低靶材冷却时间的真空电弧镀装置，属于涂镀层技术领域。一种用于降低靶材冷却时间的真空电弧镀装置，包括：底座、安装座、靶材以及管道；底座设有通孔；安装座呈顶部封口的圆筒形，安装座的底部与底座连接，并且安装座的内腔与通孔连通；靶材套设在安装座的外侧，靶材与安装座的外侧壁之间设有低熔导电填充层；管道从通孔伸入安装座的内腔。本发明在进行真空电弧镀时，高能电弧能够持续放电，冷却水持续、快速带走产生的热量，降低靶材冷却时间，避免靶材局部熔化，从而避免靶材以“液滴”形式沉积在工件上，提高了涂镀层性能和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 降低 冷却 时间 真空 电弧 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航发航空科技股份有限公司，未经中国航发航空科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010526695.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
