[发明专利]光纤用多孔玻璃基材的制造设备和制造方法在审
| 申请号： | 202010521816.4 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN112062461A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 野田直人;饭沼均 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及光纤用多孔玻璃基材的制造设备和制造方法。光纤用多孔玻璃基材的制造设备，其包括：用于控制有机硅氧烷的原料液的流量的液体质量流量控制器；用于混合原料液和载气并气化原料液从而形成其中原料气体和载气混合的混合气体的气化器；用于将原料液喷射至气化器中的原料液喷嘴；用于将载气供给至气化器中的载气供给配管；用于将供给自液体质量流量控制器的原料液引入至原料液喷嘴中的原料液配管；用于将混合气体与可燃气体和助燃气体一起燃烧来产生SiO |
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| 搜索关键词： | 光纤 多孔 玻璃 基材 制造 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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