[发明专利]一种氧化镓粉末的干燥装置在审
申请号: | 202010519773.6 | 申请日: | 2020-06-09 |
公开(公告)号: | CN111637712A | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 王斌 | 申请(专利权)人: | 王斌 |
主分类号: | F26B11/14 | 分类号: | F26B11/14;F26B21/00;F26B25/04;B02C7/08;B02C7/11;B02C13/14 |
代理公司: | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人: | 郭童瑜 |
地址: | 210000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及半导体材料加工技术领域,公开了一种氧化镓粉末的干燥装置,包括干燥箱,干燥箱内部安装研磨板,研磨板中部设有若干研磨孔,研磨板上端中部通过轴承安装转动筒,转动筒下端外侧安装研磨盘,所述干燥箱上端两侧安装限位架,限位架上端之间安装旋转轴,旋转轴中部安装曲柄,曲柄中部安装滑套,滑套下端安装滑柱,滑柱下端铰接有丝杠,丝杠穿过转动筒内部且底部连接有升降板,升降板上端设有若干与研磨孔相互配合的插针。本发明,通过设有的丝杠以及转动筒之间的相互配合,实现了转动叶以及研磨盘的往复转动,实现了干燥前成块的氧化镓粉末的碾碎作用,同时实现了对氧化镓粉末的最终干燥作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 粉末 干燥 装置 | ||
【主权项】:
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