[发明专利]一种透射式光电阴极及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202010511186.2 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111627783B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 蔡志鹏;张景文 | 申请（专利权）人： | 陕西理工大学;西安交通大学 |
| 主分类号： | H01J1/34 | 分类号： | H01J1/34;H01J40/06;H01J43/08;H01J31/50;H01J9/12 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 代芳 |
| 地址： | 723001 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及光电阴极技术领域，尤其涉及一种透射式光电阴极及其制备方法和应用。本发明所述光电阴极通过外表面增透膜和内表面增透膜的设置，能够极大地提高阴极的光吸收率，进而提高阴极的量子效率。同时，将粘接膜和内表面增透膜进行区分，可以使阴极分为信号光透过的中央增透区和无须透过的周围粘接区，以保证信号光响应区域的光增透区无须承担粘接功能，而粘接区无须承担信号光的增透功能，因此在实现粘接的基础上能够极大地释放增透膜的应力，消除因粘接带来的一系列不利影响，使得其在蓝绿光及更短波段具有更高的光谱灵敏度；本发明还提供了所述光电阴极的制备方法，所述制备方法实现了粘接功能和增透功能的分离，从而降低了粘接的不利因素。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 光电 阴极 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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