[发明专利]一种AlTiN/TiAlSiN梯度纳米复合结构涂层及其一体化制备方法与应用在审
| 申请号： | 202010478766.6 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN111500998A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 匡同春;刘备;邹高鹏;王桓;王毅;雷淑梅;周克崧;曾德长 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍;冯振宁 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AlTiN/TiAlSiN梯度纳米复合结构涂层及其一体化制备方法与应用，属于先进涂层领域。该涂层采用电弧离子镀（Arc）、高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）及其复合的（Arc‑HiPIMS）沉积技术制备。涂层结构设计分为三个层次：Arc沉积AlTiN底层作为基体与涂层之间过渡层，用来提高膜基结合力；Arc‑HiPIMS复合技术沉积的AlTiN/TiAlSiN亚纳米级梯度复合结构做为中间层，是主要的支撑层；顶层的TiAlSiN功能层由HiPiMS技术沉积，表面致密光滑，性能优异。本发明实现了涂层结构设计创新、性能优异、工艺高效，且绿色环保，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 altin tialsin 梯度 纳米 复合 结构 涂层 及其 一体化 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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