[发明专利]一种背面引线的仿生纤毛电容式微传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种背面引线的仿生纤毛电容式微传感器及其制备方法，涉及微机电技术领域，包括顶层、中间层、底层；顶层为聚合物纤毛，中间层为硅结构，底层为pyrex玻璃结构；硅结构与pyrex玻璃结构阳极键合并形成密闭的电容腔室；pyrex玻璃结构内部嵌入有导电引线柱；pyrex玻璃结构靠近硅结构的一侧中部设置有公共电容极板；公共电容极板周侧均匀分布有扇形的差分电容极板；pyrex玻璃结构远离硅结构的一侧设置有圆形的信号引脚。置传感器于流场中，运动流体引起纤毛柱变形，作为电容上极板的悬浮薄膜变形，引起电容变化，测量差分电容变化得到薄膜变形，从而得到被测二维矢量流速或剪应力信息。