[发明专利]一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂在审
| 申请号： | 202010464106.2 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111705318A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 王洁;王盛;张静;高勇;胡耀程;许章炼;吴岳;周浩宇;范佳锟;游志明;王斌;聂昆仑;罗昊;杜鑫 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C22C30/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，包括泡沫金属衬底以及设置于泡沫金属衬底的吸气剂层，其中，吸气剂层为TiZrVHfY薄膜层或者TiZrVHfTa薄膜层，该吸气剂具有更好低的激活温度、更低的二次电子产额和轻便紧凑的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 泡沫 金属 衬底 钛合金 吸气 | ||
【主权项】：
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