[发明专利]卡盘装置的驱动系统及其控制方法在审
| 申请号： | 202010459679.6 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111997951A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 矢岛久志;土屋元;石川真之;金泽猛彦 | 申请（专利权）人： | SMC株式会社 |
| 主分类号： | F15B13/02 | 分类号： | F15B13/02;F15B21/08;F15B19/00;B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 崔巍 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供卡盘装置的驱动系统及其控制方法。用于驱动卡盘装置(12)的驱动系统(10)具备：控制器(16)和基于来自该控制器的阀指令信号而切换压缩空气向上述卡盘装置的供给状态的切换阀(14)，该切换阀由五端口伺服阀构成。在从第一指部(26)和第二指部(28)的关闭位置向打开位置切换的中途，在活塞(20)的轴向位置到达了与第一指部(26)和第二指部(28)处于任意中间位置时的目标位置(D)相比、靠近跟前规定距离(L)的切换地点(E)时，使切换阀(14)以第三开度(Vc)打开规定时间(t)，然后切换为第四开度(Vd)而停止压缩空气的供给和排出。由此，使第一指部(26)和第二指部(28)停止在中间位置。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 装置 驱动 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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