[发明专利]一种表面涂覆方法及设备有效
| 申请号： | 202010455466.6 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN111889280B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张昱;刘强;高健;崔成强;叶怀宇;张国旗 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | B05B16/20 | 分类号： | B05B16/20;B05B13/02;B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人： | 彭随丽 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面涂覆方法及设备，所述表面涂覆设备包括纳米颗粒气溶胶制备装置、真空样品腔、样品多轴联动平台；所述纳米颗粒气溶胶制备装置包括纳米颗粒气溶胶制备腔以及与所述纳米颗粒气溶胶制备腔连接的涂覆部件；所述真空样品腔，设有涂覆部件连接孔；所述样品多轴联动平台，置于所述真空样品腔内部，所述样品多轴联动平台与样品台相连；所述涂覆部件穿过所述涂覆部件连接孔伸入所述真空样品腔内至所述样品所在位置。该技术可替代目前的电镀、化学镀、物理气相沉积、化学气相沉积等传统涂覆工艺，可使用任意材料的纳米气溶胶对任意形状、尺寸和结构的样品表面进行涂覆，操作简单、易实现，且具有非常广泛的普适性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 方法 设备 | ||
【主权项】：
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