[发明专利]一种表面涂覆方法及设备

权利要求书

1.一种表面涂覆设备，其特征在于，所述表面涂覆设备包括纳米颗粒气溶胶制备装置、真空样品腔、样品多轴联动平台；

所述纳米颗粒气溶胶制备装置包括纳米颗粒气溶胶制备腔以及与所述纳米颗粒气溶胶制备腔连接的涂覆部件；

所述真空样品腔，设有涂覆部件连接孔；

所述样品多轴联动平台，置于所述真空样品腔内部，所述样品多轴联动平台与样品台相连；

所述涂覆部件穿过所述涂覆部件连接孔伸入所述真空样品腔内至所述样品所在位置；

所述涂覆部件包括涂覆管和喷嘴，所述涂覆管上设有第一出气口、第一单向阀、临界孔，所述第一出气口设有第二单向阀；

所述临界孔直径范围为0.01μm-1mm，所述喷嘴直径范围为0.01μm-10mm，可通过所述临界孔和所述喷嘴的尺寸大小调节喷涂图案的分辨率。

2.如权利要求1所述的一种表面涂覆设备，其特征在于，所述纳米颗粒气溶胶制备腔选自电火花放电装置，电弧放电装置，热蒸发装置以及以气体为介质制备纳米颗粒制备装置中的任一种。

3.如权利要求1所述的一种表面涂覆设备，其特征在于：所述样品多轴联动平台移动和旋转带动所述样品台进行移动和旋转，从而使所述喷嘴对应样品台不同位置进行涂覆。

4.如权利要求1所述的一种表面涂覆设备，其特征在于，所述表面涂覆设备设有加热装置，所述加热装置选自红外线加热、光加热、微波加热装置中的一种。

5.一种由权利要求1-4中任一项所述的表面涂覆设备涂覆的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

I.将纳米原料放入纳米颗粒气溶胶制备装置，生成纳米气溶胶；

II.所述纳米气溶胶通过载气经过涂覆部件涂覆在样品多轴联动平台的样品台上，得到薄膜；

III.将所述薄膜通过加热装置进行热处理；

所述热处理条件为：加热温度为10℃-500℃，加热速率为0.01℃/s-3℃/s，保温时间为1min-100min。

6.一种由权利要求5所述涂覆的方法，其特征在于，所述纳米气溶胶腔中纳米原料为单组元喷涂材料、合金喷涂材料、复合型喷涂材料和混合型喷涂材料中的一种。

7.一种由权利要求5所述涂覆的方法，其特征在于，所述纳米气溶胶腔中纳米原料为金属单质、金属氧化物、合金化合物、无机非金属材料、有机/无机复合材料中的一种或多种。