[发明专利]一种用于检验超大口径凹非球面反射镜的光学系统在审
| 申请号： | 202010446277.2 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111458111A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 赵鹏玮;郑列华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于检验超大口径凹非球面反射镜的光学系统。检验光学系统由激光干涉仪和自准校正透镜组组成。自准校正透镜组位于待检凹非球面反射镜的共轭后点前。激光干涉仪出射的光线经过自准校正透镜的折射成像在待检凹非球面反射镜的共轭后点。经待检反射镜反射后光线成像在待检凹非球面的共轭前点。反射光线经过自准校正透镜组折射，在远离待检凹非球面反射镜的表面自准反射，按原路返回干涉仪。本发明的优点在于：该光学系统可以实现超大口径以及超大相对孔径凹非球面反射镜的高精度检验。同时，光学系统的光路长度较短，自准校正透镜组的口径较小，便于加工及装调。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检验 超大 口径 球面 反射 光学系统 | ||
【主权项】：
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