[发明专利]一种表面等离激元共振湿度传感器

摘要

本发明提供了一种表面等离激元共振湿度传感器，在聚酰亚胺层中设有孔洞，在聚酰亚胺层的顶部设有贵金属薄膜，在孔洞的底部设置贵金属块。在应用时，聚酰亚胺层吸湿膨胀，改变贵金属薄膜与贵金属块的表面等离激元共振特性，通过探测该共振实现湿度检测。因为贵金属微纳结构的表面等离激元共振特性对结构的形貌、结构间的距离非常敏感，所以本发明具有灵敏度高的优点。另外，在待测环境中设置本发明的传感器，应用外光路照射本传感器和应用外设光探测器接受信号，结构本身的尺寸小，在湿度传感领域具有良好的应用前景。