[发明专利]一种PMMA基石墨烯爆压测试传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 202010438318.3 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111637801B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 张国栋;刘元;赵玉龙;韦学勇;孙警;余旺;张一中 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;F42B35/00;G01L9/08 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种PMMA基石墨烯爆压测试传感器及其制造方法,传感器包括基底，基底上通过转移工艺设有第一氮化硼，第一氮化硼上通过转移工艺设有石墨烯，石墨烯两端通过MEMS工艺溅射有电极，石墨烯上通过转移工艺设有第二氮化硼，第二氮化硼上设有封装层；本发明通过MEMS技术实现了氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结敏感元件的微型化，使其适用于微尺度装药爆轰压力的测量；通过基底背面曝光及显影工艺，实现了PMMA基底上电极的图形化，避免了对基底的破坏；利用不同的目标衬底进行捞取，实现了石墨烯以及氮化硼的转移，简化了传感器的制作流程；传感器具有敏感元件尺寸小、响应快、灵敏度高、量程大、精度高等特点，能够适用于微尺度装药爆轰压力的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pmma 基石 墨烯爆压 测试 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010438318.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：显示控制方法、装置及电子设备
- 下一篇：一种智能减速带
