[发明专利]一种阻挡等离子体反流的分离式进气结构有效
| 申请号： | 202010435707.0 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113707527B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 刘海洋;刘小波;胡冬冬;张军;程实然;郭颂;李娜;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 石艳红 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阻挡等离子体反流的分离式进气结构，包括进气法兰、均为陶瓷材质的上部进气喷嘴和下部进气喷嘴；上部进气喷嘴同轴嵌套或同轴叠放在下部进气喷嘴顶部；上部进气喷嘴和下部进气喷嘴中设有呈折线型的进气通道，进气通道包括上轴向通道、径向通道、下轴向通道和出气口；径向通道或下轴向通道位于上部进气喷嘴和下部进气喷嘴的安装配合部位；下轴向通道的顶部指向上部进气喷嘴的底部壁面。本发明舍弃了传统的中心进气导向体，将陶瓷材质的进气喷嘴设置为分离式的两部分，在安装、加工及维修方便的同时，能够有效解决现有技术中等离子体反流，导致的气体在进气通道内放电，烧坏进气导向体的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阻挡 等离子体 分离 式进气 结构 | ||
【主权项】：
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