[发明专利]一种深紫外激光多参数一体化综合测量系统在审
| 申请号： | 202010427644.4 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113686429A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 陈彬彬;江锐;王家赞;刘广义 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/04 | 分类号： | G01J1/04;G01J1/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种深紫外激光多参数一体化综合测量系统，包括：功率测量装置，用于测量所述深紫外激光器输出的平均功率和功率稳定性时域特性参数；和/或频谱特性参数测量装置，用于测量所述深紫外激光器的频谱特性参数；和/或时域特征参数测量装置，用于测量所述深紫外激光器的时域特性参数；和/或空域特征参数测量装置，用于测量所述深紫外激光器的空域特性参数；所述功率测量装置、所述时域特性参数测量装置和所述频谱特性参数测量装置的至少其中两者能够选择性的同步测量。本发明能够防止空气对于深紫外激光的吸收及防止光学元件对光束质量的影响，保证准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 激光 参数 一体化 综合 测量 系统 | ||
【主权项】：
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